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专业领域及技术
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专业技术

开发过程

分析客户的光工程生产现场及邀请的技术,利用光学专业技术及经验数据库,提供最适合需求的光学系统。

客户服务方向

突破性提供生产效率

最大化优化光源和光学系统的光效率,以改善现有生产线的生产效率。

支持多光源的高输出光学系统,以最大化生产效率。

大幅降低维护费用/延长周期及安全性

例如:将光刻工程线上的光源(超高压水银灯,其他Bulb灯型光源)换成LED光源,除去将对原有光源产生热进行冷却相关的油灯房、冷却系统、
排气系统等,除了减少投资之外,生产时可大幅减少冷却,排气UT费用/电费等。与水银灯相比,使用寿命大幅延长,节省了更换费用,更换周期的延长使装备停机的损失降至最低。

现有灯的热发生不会引起产品的变形及不亮,因此提高收益率可以大幅的节省费用。

会因为185nm波长的UV而产生臭氧,对人体无害,也不会有因现有灯的冷却不良而发生爆炸的危险。
并且是不存在废弃现有的水银灯时会产生有毒物质(水银等)的环保产品。

生产高清晰度,高品质产品

例如:光品质的大幅度改善(调查光的NA, Uniformity, 广角等)

为需要高清晰度,高品质产品的顾客,提供接近理想光的光学系统。

需要特殊光学系统的客户

多种波长的光源,为需要特殊功能的客户提供必要的光源及光学系统。